加入日期
2017年01月10日
所属地区
内蒙古自治区
进展阶段
环评公示
正文内容
项目名称：年产8000吨高纯度、低 耗能多晶硅材料技术改造项目
项目概况：年产8000吨高纯度、低 耗能多晶硅材料技术改造项目，建设地点位于内蒙古自治区鄂尔多斯市鄂克托旗棋盘井镇工业园区，项目总投资：41729 万元，在原有 3000t/a 多晶硅生产线的基础上进行 8000t/a 多晶硅节能改造。在原有工程基础上，改造部分工序生产工艺，实现生 产各工序的产能扩大、技术提升、设备优化，达到“提质、节能、降耗和降本” 的目的。本改扩项目建设期限为 2016～2017 年，2016 年 12 月完成项目建设前期阶 段工作，2017 年 3 月正式开工建设，2017 年 7 月底机械竣工，2017 年 10 月完 成试车、性能考核后，正式投入商业运行。
建设单位：内蒙古鄂尔多斯多晶硅业有限公司
环评机构：中冶东方控股有限公司
受理日期：2017年1月5日
改扩建工程建设内容 改扩建项目主要是对已有生产线的扩能技改升级，主要是根据生产运行情况 27 对生产装置进行技术改造，满足扩能需求的同时达到节能降耗和提高产品质量的 目。
项目建设内容主要包括以下方面：
还原工序
对已有 18 台 18 对棒还原炉进行工艺、设备以及相配套的电仪、管道等 进行优化改造，将原有的 3000t/a 多晶硅产能提升至 3500t/a，还原电耗由 90kWh/kg-Si 降至 65kWh/kg-Si。 原有多晶硅还原系统设计产能为年产 3000 吨多晶硅，全部为德国新泰克 18 对棒还原炉，使用的硅芯规格为 2.0m 高的圆硅芯；其生产流程为集中供气的生 产模式，即汽化器单独汽化高纯三氯氢硅获得的三氯氢硅气体分别进入到单台还 原炉的分气柜内，与常温氢气进行混合得到指定配比的混合气进入到李比希管内 进行升温，升温后的混合气进入到还原炉内，作为多晶硅气相沉积的原料。 还原尾气进入到李比希管内给混合气升温后，然后直接进入后续干法尾气回 收系统，送往干法回收系统的还原尾气温度相对较高。 还原系统采用高温水作为冷却介质的有还原炉底盘及还原炉钟罩，供水温度 为 90℃，出水温度为 130℃，该品质的高温水热利用效率相对较低，基本都是通 过空冷器直接冷却，因此还原炉副产的热量未得到有效的回收。
拆除现有热氢化炉，利旧原有厂房，通过厂房结构改造，在原厂房内新 增 9 台 36 对棒还原炉，以新增 4500t/a 多晶硅产能，还原电耗达到 50kWh/kg-Si。 通过上述技改，实现总产能为 8000t/a 多晶硅。 现有多晶硅前后处理有专门的厂房，设计时处理能力大，空间布置满足扩产 需求，因此本次技改过程中前后处理车间不需要做调整，能够满足扩建后年产 8000t/a 多晶硅的需求。
提纯工序
改造设计理念
提纯工艺参数、流程最优化 本项目结合当前知名企业及设计院氯硅烷精馏提纯的研发、设计、运行等经 验，采用最合适的回流比和操作工况，达到产品品质要求；同时精简塔组流程， 最大限度的优化塔的配置和配套的设备数量、规格，最大限度的降低提纯能耗， 28 达到节能降耗的目的。
充分利用差压热耦合技术，降低能耗 在生产稳定和可操作性的前提下，运用多塔、多方式差压热耦合技术，降低 能耗。
最大限度利旧已有装置和设备 充分考虑已有的设备和装置，让低效资产增效增值，减少新购设备数量，降 低投资。
提纯技改内容
对已有塔组流程、塔内件、物料特点，对工艺流程、装备能力进行核算， 合理分配塔组，以满足产能需求，同时充分考虑已有的设备和装置，减少投资。
新增粗馏塔、精馏塔等塔组，以满足年产 8000 吨多晶硅的产能需求。
在生产稳定和可操作性的前提下，运用多塔、多方式差压热耦合技术。 提纯塔组中精馏塔、粗馏塔、干法精馏塔、回收塔和反歧化塔均采用差压热耦合 技术，提纯能耗降低 40～50%，节水 40%。
提纯工艺技术方案 8000t/a 多晶硅提纯工序新增加 5 个塔，利旧 8 个塔，分别为初分塔、粗馏 塔、精馏塔、回收塔和干法精馏塔等，
各类型塔组的工艺简介如下： 1）初分塔 03T001 冷氢化初分塔处理氢化冷凝料，由 1 个塔组成，为新增设备，流程为塔釜采 29 出四氯化硅返回氢化工序，塔顶料到脱轻塔，残液进残液回收系统。 2）脱氢塔 02T0101 来自初分塔的塔顶料经脱氢塔，将二氯二氢硅分离送入反应歧化塔，三氯氢 硅送入粗馏塔组（03T0101、03T0102、03T0103）。 3）粗馏塔组 03T0101、03T0102、03T0103 粗馏塔组主要处理氢化粗馏塔经脱轻后的产品，由 3 塔组成，均为新增设 备，流程为：脱重→脱轻→脱重，高沸物和低沸物返回高低沸回收塔（02T0104、 02T0105）进一步回收。 节能措施：3 塔差压热耦合、原料与产品双效换热。 4）精馏塔组 02T0102、02T0103| 精馏塔组主要处理粗馏塔的产品，由 2 塔组成，均为利旧设备，流程为： 脱轻→脱重，最终满足还原炉使用要求。 节能措施：2 塔差压热耦合、原料与产品双效换热。 5）高低沸回收塔 02T0104、02T0105 回收塔处理粗馏塔高沸物和低沸物，由一组塔组成，利用原粗馏二级塔和三 级塔，流程为脱轻-脱重，回收产品。 节能措施：2 塔差压热耦合、原料与产品双效换热。 6）干法精馏塔 03T0104、原 AK120 干法塔处理还原尾气干法回收料，由 2 塔组成，利旧原尾气回收塔 AK120， 新增 1 个塔，干法精馏产品满足进还原要求，低沸物进分离塔进一步回收，高 沸物四氯化硅送入氢化工序或反歧化工序。 7）反歧化反应精馏塔 AK500、AK200 反歧化反应精馏塔，由 2 塔组成（AK500 和 AK200），均为利旧，反歧化 产品进精馏塔或满足要求后进还原炉
尾气回收工序 基于“用最少的投入实现鄂尔多斯多晶硅 8000t/a 稳定低能耗运行”的原则， 尽可能利旧使用或改造原有设备，对原尾气回收技改后降低了能耗：
压缩后由原来的 1.6MPa，降至 1.3MPa，降低了压缩机的功耗；
停用-70℃复叠式冷冻机组，节省了大量的电耗。
冷氢化工序 四氯化硅氢化工序采用当前技术成熟、安全稳定的大型流化床技术。其工艺 流程描述： 1）硅粉进料系统：硅粉输送采用正压密相输送系统输送，由硅粉仓库硅粉 输送装置在氮气氛围下将硅粉输送至流化床车间内高处的低压进料罐，然后在重 力作用下进入高压进料罐，置换合格后冲压至高压，通过气体和自身重力下送至 氢化反应器内； 2）四氯化硅与氢气混合预热系统：四氯化硅从罐区经过四氯化硅输送泵送 至气液换热器、四氯化硅预热器，预热至一定温度后，进入四氯化硅蒸发器转化 为气相四氯化硅。通过流量连锁控制四氯化硅气体量，与来自压缩机的循环氢气 流量连锁，使四氯化硅与氢气的配比控制在 1:2。二者混合后直接送至过热器进 一步加热至 320℃后，与氢化反应器出口的高温尾气通过气气换热器进行换热， 换热后的气体进入混合器预热炉电加热至氢化反应所需的温度，进入氢化反应 器。 3）氢化反应：来自步骤 1）的硅粉和步骤 2）的高温四氯化硅和氢气混合气 体在氢化流化床反应器中进行氢化反应，产生的氢化尾气进入气气换热器换热降 温至 350℃左右后直接进入急冷塔。 4）尾气急冷除尘除杂系统：含有固体颗粒及金属杂质的氢化尾气进入急冷 塔，与急冷塔内液体充分热质接触，净化除尘后进入塔顶空冷器，空冷至 60℃。 冷凝后的液体部分回流至急冷塔，急冷塔底部排放的残液经残液回收装置将氯化 硅回收，固体渣送至三废处理。经过空冷后的气体进入后续的多级冷凝系统。 5）多级冷凝回收系统：来自步骤 4）的气体，经过水冷、双效换热、深冷 后，从中分离出来的氢气进入循环氢气压缩机压缩后循环使用，冷凝下来的氯硅 烷液体送至提纯塔。 6）气体压缩系统：来自步骤 5）的氢气进入循环氢压机进口缓冲罐，与外 界补充的氢气混合后送至循环氢气压缩机压缩至 3.3MPa，经循环氢气压缩机出 口缓冲罐去往步骤 1）。 7）冷凝料粗馏系统：来自步骤 5）的氢化冷凝料经两级塔进行提纯分离， 分离出来的四氯化硅返回至步骤 2），分离的三氯氢硅和二氯二氢硅送至提纯装 31 置的精馏塔和二氯二氢硅分离塔进一步分离。
改扩建工程项目组成一览表
项目组成 生产工序 原有工程 改扩建工程 备注
主体 工程 H2制备与 净化 电解槽、除氧器、吸附干燥器 依托原有工程 已建 液氯汽化 液氯钢瓶（57 个钢瓶），其中 28 个使用，29 个备用 依托原有工程 已建 HCl 合成 HCl 合成炉、空气冷却器、HCl 冷却器、HCl 深冷器等 依托原有工程 已建 SiHCl3合成 HCl 加热器、氮气电加热器、泄放气除尘器、硅尘捕集 器、硅尘过滤器、SiHCl3合成炉、合成气洗涤塔和冷凝 器、SiCl4蒸汽冷凝器、氯硅烷液体过滤器、混合排放气 冷却器等 依托原有工程 已建 精馏提纯 多级（1~11）精馏塔、再沸器、冷凝器、氮气增湿器、 进料预热器、尾气冷凝器 新增粗馏塔、精馏塔等塔组，以满足产能需求；在生产稳 定和可操作性的前提下，运用多塔、多方式差压热耦合技 术。提纯塔组中精馏塔、粗馏塔、干法精馏塔、回收塔和 反歧化塔尽量采用差压热耦合技术；新增加 5 个塔，原有 多级精馏塔中利旧 8 个塔，拆除 3 个塔；分别为初分塔、 粗馏塔、精馏塔、回收塔和干法精馏塔 拟建 SiHCl3氢还 原 SiHCl3挥化器、还原炉、冷却器、加热器等 （1）对已有 18 台 18 对棒还原炉进行工艺、设备以及相配 套的电仪、管道等进行优化改造，将原有的 3000t/a 多晶硅 产能提升至 3500t/a； （2）拆除现有的全部热氢化炉，利旧原有厂房，通过厂房 结构改造，在原厂房内新增 9 台 36 对棒还原炉，以新增 4500t/a 多晶硅产能实现总产能为 8000t/a 多晶硅。 拟建 33 SiCl4氢化 工序 挥化器、氢化炉、加热器、冷却器等 将原有热氢化工序改为冷氢化工序。新增一条单线 15 万吨 /年 TCS 冷氢化装置（含渣浆处理），匹配 8000 吨/年多晶 硅产能需求； 新增反歧化装置，处理还原和冷氢化副产生的二氯二氢硅 拟建 硅芯制备和 产品整理 硅芯炉、烘干炉、煅烧炉、切割机、腐蚀槽、清洗槽等； 采用区熔炉拉制与切割并用的技术，加工制备还原炉初 始生产时需安装于炉内的导电硅芯。 依托原有工程 已建
公用及辅助 工程 办公、生活 设施 综合办公楼和倒班宿舍、中央化验室、食堂、车间办公 室、浴室、卫生间、车库等。 依托原有工程 已建 供水系统 由棋盘井工业园区自来水公司水厂供水。 依托原有工程 已建 供电系统 本工程供电由鄂尔多斯市电力集团供电公司提供，采用 两回路。 依托原有工程 已建 排水管网 厂区有生产废水、生活污水、消防事故和雨水排水四个 系统。生产废水、事故消防废水收集池废水经厂区内污 水处理系统处理后部分回用于酸碱配置工序使用，部分 排入园区污水处理厂进行处理，生活污水经化粪池预处 理后排入棋盘井工业园区污水处理厂进行进一步处理。 依托原有工程 已建 厂污水处理 站 处理能力 200m3 /h 依托原有工程 已建 消防水池 容积 2000 m3(按 130l/s，持续 3 小时计) 依托原有工程 已建 事故及初期 雨水池 容积 2000 m3，与消防排水池同用 依托原有工程 已建 34 循环冷却系 统 循环水量 10000m3 /h。 依托原有工程 已建 纯水站 出力 25m3 /h 依托原有工程 已建 脱盐水站 设计出力 70m3 /h，正常情况出力 60m3 /h 依托原有工程 已建 机房 总控制室、泵站、空分机房等 依托原有工程 已建
储运 工程 储运系统 综合仓库、化学品库、成品库，占地面积为 15800m2； 依托原有工程 已建 临时渣场（硅渣等）。 依托原有工程 已建 酸碱罐、Cl2 贮罐、H2、HCl、SiHCl3 和 SiCl4缓冲罐及 其贮罐， 新增冷氢化冷凝料储罐、冷氢化初分塔 STC 储罐、回收精 馏 STC 储罐、屏蔽泵， 拟建 厂区运输道路。 依托原有工程 已建
依托 工程 供、排水、 热、蒸汽供 应 依托园区自来水公司水厂供水和管网；生产废水经厂区 内污水处理站处理后部分回用于酸碱配置工序使用，部 分排入园区污水处理厂进行处理，生活污水排至园区污 水处理厂进一步处理，脱盐水站、循环水系统产生的含 盐废水排入由园区污水管网排入园区污水处理厂进行 处理；本项目正常生产、开车所需蒸汽来自棋盘井镇工 业园区内鄂尔多斯集团电厂副产蒸汽，采暖所需热水由 工业园区现有供热站统一供给。 依托原有工程 已建 依托原有工程 已建
环保 工程 废气处理 尾气洗涤塔（1 开 1 备）、酸雾吸附塔、硅粉除尘系统 （1）对现有的干法回收系统进行产能核算和优化改造，降 低能耗，提升质量； （2）对现有的热氢化尾气回收装置进行产能核算和优化 改造，用于新增还原尾气回收； 拟建 废水（液） 处理 废液处理槽、事故水池、中和池、化粪池、污水处理站 等 依托原有工程 已建 35 固体废物处 理 （1）硅粉等固废外售建材公司； （2）生活垃圾定点堆场，交由环卫部门统一处理； （3）污水处理站污泥交由有资质单位进行处理； 新增 1 座危废暂存间，面积约 100m2。 拟建 噪声治理 （1）设备选型上选用低噪声产品，对部分设备安装消 声器，同时对有关设备单独设置基础和采取减震措施； （2） 设备均布置在车间厂房内，经厂房隔声、减振底座、消声 器等处理； 拟建 绿化 全厂范围 以装置区周边空地及厂前区为重点，原则以绿化和实用为 主，选择能吸尘及吸收有害气体效果佳的植物，本项目绿 地率为 15%。 拟建
主要经济技术指标表
序号 项目 单位 指标 备注
一 生产规模 多晶硅装置 t/a 原有工程扩能 二 商品量 多晶硅 t/a 太阳能级 三 年操作时间 h 8000 四 主要原材料 1 工业硅粉 t/a 2 液氯 t/a 3 氢氧化钠 t/a 4 生石灰 t/a 5 浓硝酸（约 68%） t/a 6 氢氟酸（约 40%） t/a 五 公用工程用量 1 工业用水 m3 /h 正常值 2 生活用水 m3 /h 正常值 3 电力负荷 亿 kWh/a 8 正常值 六 运输量 t/a 23669 1 运入 t/a 12640 2 运出 t/a 13558 七 定员 人 413 八 总规划占地面积 m2 381041 包括预留二期改扩工程发展用地， 均为厂区内既有用地，不新增占地 九 工程项目总投资 万元 41729 1 建设投资 万元 36981 其中含进口设备 585 万美金 2 建设期利息 万元 679.16 3 流动资金 万元 4068.84 十 年均销售收入 万元 96000 含税 十一 年均总成本 万元 61288.87 其中年均经营成本 万元 49870.40 十二 年均净利润 万元 15046.78 十三 年均税金 万元 14466.07 1 增值税和附加税 万元 9450.48 2 所得税 万元 5015.59 十四 财务评价指标 1 总投资收益率(年均) % 11.98 2 投资利税率(年均) % 17.09 3 资本金净利率(年均) % 10.64 4 项目全投资 4.1 内部收益率 % 16.64 13.02 税前 税后 4.2 净现值 ic=11% 万元 51334.54 17860.97 税前 税后 4.3 投资回收期（静态） 年 6.47 7.54 税前 税后 5 项目资本金 5.1 内部收益率 % 14.33 税后 5.2 净现值 ic=13% 万元 9069.89 税后 6 贷款偿还期 年 8 生产期等额偿还
8000 吨/年多晶硅装置主要设备一览表
序号 设备名称 规格 数量 所在车间 备注
一、还原工序 1 18 对棒还原炉 φ1800，2.0m 硅芯 18 还原车间 利旧 2 防爆桥式起重机 G=16t，S=16.5m 2 还原车间 利旧 3 电极水循环泵 1210CFF 4 还原车间 利旧 4 电极水冷却器 板换，1320×730×1535 F=65m2 4 还原车间 利旧 5 炉筒自动清洗机 φ1800，18 对棒 1 还原车间 利旧 6 自动供酸系统 WMS-CDS 3 还原车间 利旧 7 自动封箱机 VS5-05(JP501) 还原车间 利旧 8 自动打包机 VS-102(A-93N) 还原车间 利旧 9 真空充氮包装机 VSI-400F/2-W/100 2 还原车间 利旧 10 硅块清洗机 WMS-DJGK 2 还原车间 利旧 11 硅芯清洗机 WMS-DJGS 1 还原车间 利旧 12 硅芯磨锥机床 MZ-08 2 还原车间 利旧 13 硅芯横梁双头钻孔机床 GXT2500-8 还原车间 利旧 14 硅芯丫口切割机床 YKJ2500-8 还原车间 利旧 15 圆盘切断机床 YPJ1500-2200 还原车间 利旧 16 钻孔取样机 ZS-100H 还原车间 利旧 17 金刚石切割机 SJY-150 2 还原车间 利旧 18 精密研磨抛光机 UNIPOLO-802 2 还原车间 利旧 19 硅芯专业喷砂机 DT-7555A 2 还原车间 利旧 20 磨锥机 HMJ-200 2 还原车间 利旧 21 36 对棒还原炉 φ3200，2.8 硅芯 9 新增 22 氢气预热器 BEM，φ200*1900；304 18 新增 23 氢气预热器 BEM，φ300*2100；304 8 新增 24 三氯氢硅汽化器 AKU，φ500*4800；304 4 新增 25 混合器 φ150*2000；304 18 新增 26 混合器 φ250*2000；304 8 新增 27 防爆桥式起重机 G=32t，S=16.5m 1 新增 28 电极水循环泵 CT 型标准化工泵，1210CFF 6 新增 29 电极水冷却器 1320*730*1535 F=65m2 6 新增 30 炉筒自动清洗机 φ3200，36 对棒 1 新增 31 横梁打孔机 RS-100 1 新增 32 双头磨锥机 RS-200 1 新增 二、干法回收工序 1 还原尾气空冷器 1# 5500*2000*4140， 换 热 面 积 F ＝ 58.8/612m2 1 干法装置 利旧 2 还原尾气空冷器 2# 5500*2000*4140， 换 热 面 积 F ＝ 58.8/612m2 1 干法装置 利旧 5 氯硅烷贮罐 Φ1400，V＝4.57m3 1 干法装置 利旧 6 富液储罐 Φ1400，V＝4.57m3 1 干法装置 利旧 7 氯硅烷屏蔽泵 Q=39.2m3 /hr，H＝43m 4 干法装置 利旧 10 还原尾气活塞压缩机 Q=1812.2m3 /hr，出气 1.9MPa（表） 2 干法装置 利旧 11 一级压缩气-吸收气换 热器 卧式Φ750，L=6000，F＝207.2m2 1 干法装置 利旧 12 二级压缩气-吸收气换 热器 卧式Φ750，L=6000，F＝207.2m2 1 干法装置 利旧 13 压缩后气深冷器 卧式Φ450L=5100，F＝39.3m2 1 干法装置 利旧 14 3#甲苯冷冻系统 入口-15℃，出口-20℃ 1 干法装置 利旧 15 2#甲苯冷冻系统 入口-50℃，出口-55℃ 1 干法装置 利旧 18 氯硅烷循环屏蔽泵 Q=80m3 /h，H＝20m 4 新增 20 还原尾气压缩机 10000Nm3 /h，进气 0.55MPa，出气 1.3MPa 1 新增 24 再生后气过冷器 F＝25m2 1 新增 25 氯化氢隔膜压缩机 270Nm3 /h 2 新增 26 氯化氢进气缓冲罐 5m3，Φ1600X2300 1 新增 27 氯化氢排气缓冲罐 5m3，Φ1600X2300 1 新增 28 氯化氢深冷器 F＝30m2，Φ600×4375 1 新增 29 活性炭吸附器 Φ2000 6 新增 30 过滤器 2 新增 31 还原尾气水冷器 1# F＝200m2 1 新增 32 还原尾气水冷器 1# F＝200m2 1 新增 33 精馏用甲苯设备 1 新增 三、氢化工序 1 氢化反应器 Φ3000，NO8810，内置旋风分离器 1 新增 2 急冷塔塔顶冷凝器 BEM，Φ1000，F=148.3m2，立式 1 新增 3 空冷器 GP12X3/2-GJP12X6/1-TF45/2-SC1 2X3/2 1 新增 4 四氯化硅预热器 BEU，Φ600×2250，卧式 1 新增 5 四氯化硅蒸发器 BKU，Φ600×1200，卧式 1 新增 6 氢气预热器 BEU，Φ600×1950，卧式 1 新增 7 混合气过热器 BEU，Φ700×3650，卧式 1 新增 8 气气换热器 BEM，Φ800，立式 1 新增 9 混合气预热炉 成套设备，辐射加热，Q 额=2000kW 1 新增 10 水冷器 BEM，Φ800×4500，卧式 1 新增 11 中间热交换器 BEM，Φ700×2300，立式 1 新增 12 终端冷凝器 BEU，Φ800×1600，卧式 1 新增 13 氢气过热器 成套设备，电阻加热，Q 额=200kW 1 新增 14 氮气加热器 电阻加热，Q=150KW，间断开 1 新增 15 急冷塔 Φ2400，316 1 新增 16 汽提塔 Φ500，316 1 新增 17 急冷塔侧线回流泵 屏蔽泵，H=35m 2 新增 18 急冷塔塔顶回流泵 屏蔽泵，H=65m 2 新增 20 静态混合器 成套设备 1 新增 21 防爆电动单梁起重机 Q=10T，CD1 型 1 新增 22 低压进料罐过滤器 Φ1000×4150，Q345R 1 新增 23 高压进料罐过滤器 Φ1500×4780，Q345R 1 新增 24 硅粉过滤器 Φ2400×3000，Q345R 1 新增 25 循环氢气压缩机 2D6.5-5.83/25-32，21000Nm3 /h 2 新增 26 补充氢气压缩机 P3.5-0.47/12-34，1700Nm3 /h 2 新增 27 硅粉干燥器 V=20m3，Q345R 2 新增 28 硅粉密相输送装置 成套设备，Q=6T/h，H=32m 1 新增 29 硅粉低压进料罐 V=10.5m3，Q345R 1 新增 30 硅粉高压进料罐 V=10.5m3，15CrMoR 1 新增 31 冷凝料缓冲罐 V=50m3，Q345R 1 新增 32 循环氢压机进口缓冲 罐 V=10m3，Φ2000×3000，Q345R 1 新增 33 循环氢压机出口缓冲 罐 V=10m3，Φ2000×3000，Q345R 1 新增 34 补充氢压机进口缓冲 罐 V=5m3，φ1600×2000，Q345R 1 新增 35 补充氢压机出口缓冲 罐 V=5m3，φ1600×2000，Q345R 1 新增 37 制冷装置 成套设备，68 万 kcal/h 1 新增 39 残液处理装置 成套设备 1 新增 40 硅粉气力输送 1 合成装置 利旧 41 硅粉仓库 1 合成装置 利旧 四、精馏工序 1 尾气回收塔 Φ1800×44815，022Cr19Ni10 1 提纯装置 利旧 2 尾气回收塔冷凝器 Φ1000×6928，00Cr19Ni10 1 提纯装置 利旧 3 尾气回收塔深凝器 Φ200×5680，00Cr19Ni10 1 提纯装置 利旧 4 尾气回收塔再沸器 Φ1200×4912，00Cr19Ni10（管） /Q345R （壳） 1 提纯装置 利旧 5 尾气回收塔回流槽 Φ1400×4263，00Cr19Ni10 1 提纯装置 利旧 6 尾气回收塔回流泵 Q=42m³/hr，H=59m 2 提纯装置 利旧 7 尾气回收塔釜液泵 H=31m 2 提纯装置 利旧 8 蒸汽凝液泵 2 提纯装置 利旧 9 蒸汽凝液槽 Φ1400×3063，00Cr19Ni10 1 提纯装置 利旧 10 反歧化 1 塔/粗 1 塔 Φ1600×50437，Q345R 1 提纯装置 利旧 11 反歧化 2 塔/回收 1 塔 Φ1100×55908，Q345R 1 提纯装置 利旧 12 反歧化 3 塔/回收 2 塔 Φ1100×55908，Q345R 1 提纯装置 利旧 13 反歧化 1 塔/粗 1 塔再 沸器 Φ1000×3000，304 1 提纯装置 利旧 14 反歧化 1 塔/粗 1 塔冷 凝器 Φ900×6000，304 1 提纯装置 利旧 15 反歧化 2 塔/回收 1 塔 再沸器 Φ800×3000，304 1 提纯装置 利旧 16 反歧化 2 塔/回收 1 塔 冷凝器 Φ700×6000，304 1 提纯装置 利旧 17 反歧化 3 塔/回收 2 塔 再沸器 Φ1000×3000，304 1 提纯装置 利旧 18 反歧化 3 塔/回收 2 塔 冷凝器 Φ325×3000，304 1 提纯装置 利旧 19 反歧化 3 塔/回收 2 塔 塔底后冷器 Φ400×1500，304 1 提纯装置 利旧 20 反歧化 1 塔/粗 1 塔回 流罐 Φ2000×5480，Q345R 1 提纯装置 利旧 21 反歧化 2 塔/回收 1 塔 回流罐 Φ1800×5150，Q345R 1 提纯装置 利旧 22 反歧化 3 塔/回收 2 塔 回流罐 Φ1800×5150，Q345R 1 提纯装置 利旧 23 反歧化 1 塔/粗 1 塔回 流泵 H=64m 2 提纯装置 利旧 24 反歧化 2 塔/回收 1 塔 回流泵 H=85m 2 提纯装置 利旧 25 反歧化 2 塔/回收 1 塔 塔底泵 H=44m 2 提纯装置 利旧 26 反歧化 3 塔/回收 2 塔回 流泵 H=86m 2 提纯装置 利旧 27 回收 1 塔/粗 2 塔 Φ2000×57000，Q345R 1 提纯装置 利旧 28 回收 2 塔/粗 3 塔 Φ1800×57000，06Cr19Ni10 1 提纯装置 利旧 29 回收 1 塔/粗 2 塔再沸器 Φ1400×3000，304 1 提纯装置 利旧 30 回收 1 塔/粗 2 塔冷凝器 Φ1200×6000，304 1 提纯装置 利旧 31 回收 2 塔/粗 3 塔再沸器 Φ1200×3000，304 1 提纯装置 利旧 32 回收 2 塔/粗 3 塔冷凝器 Φ450×3000，304 1 提纯装置 利旧 33 回收 2 塔/粗 3 塔塔底后 冷器 Φ400×1500，304 1 提纯装置 利旧 34 回收 1 塔/粗 2 塔回流罐 Φ2400×6080，Q345R 1 提纯装置 利旧 35 回收 2 塔/粗 3 塔回流罐 Φ2400×6080，06Cr19Ni10 1 提纯装置 利旧 36 回收 1 塔/粗 2 塔回流泵 H=83m 2 提纯装置 利旧 37 回收 1 塔/粗 2 塔塔底泵 H=83m 2 提纯装置 利旧 38 回收 2 塔/粗 3 塔回流泵 H=87m 2 提纯装置 利旧 39 AK100 Φ1000×50880，06Cr19Ni10 1 提纯装置 利旧 40 AK100 再沸器 F=122m2，φ650×4425，Q345R 1 提纯装置 利旧 41 AK100 冷凝器 F=190m2，φ800×6192，Q345R 1 提纯装置 利旧 42 AK100 深冷器 F=190m2，φ800×6192，Q345R 1 提纯装置 利旧 43 AK100 回流罐 1 提纯装置 利旧 44 AK100 回流泵 2 提纯装置 利旧 45 AK100 塔釜泵 2 提纯装置 利旧 46 AK500 Φ1000×56660，06Cr19Ni10 1 提纯装置 利旧 47 AK500 再沸器 F=36.5m2，Φ600×2000，304 1 提纯装置 利旧 48 AK500 冷凝器 F=61.4m2，Φ700×3000，304 1 提纯装置 利旧 49 AK500 回流罐 Φ1800×2600，304 1 提纯装置 利旧 50 AK500 回流泵 H=83m 2 提纯装置 利旧 51 AK500 塔釜泵 H=38m 2 提纯装置 利旧 52 AK500 进料泵 2 提纯装置 利旧 53 精馏 1 塔 Φ3200×76000，Q345R 1 新增 54 精馏 2 塔 Φ3200×76000，Q345R 1 新增 55 精馏 3 塔 Φ3200×71000，304 1 新增 56 精馏 1 塔冷凝器 Φ2000×3900，304（管）/Q345R（壳） 1 新增 57 精馏 1 塔再沸器 Φ2300×6000，304 1 新增 58 精馏 2 塔冷凝器 Φ2100×3800，304（管）/Q345R（壳） 1 新增 59 精馏 2 塔再沸器 Φ2500×6000，304 1 新增 60 精馏 3 塔冷凝器 Φ900×5250，304（管）/Q345R（壳） 1 新增 61 精馏 3 塔再沸器 Φ2000×5550，304（管）/Q345R（壳） 1 新增 62 精馏 1 塔低沸冷却器 Φ350×3400，304（管）/Q345R（壳） 1 新增 63 精馏 2 塔高沸冷却器 Φ350×3400，304（管）/Q345R（壳） 1 新增 64 精馏 3 塔高沸冷却器 Φ350×3400，304（管）/Q345R（壳） 1 新增 65 精馏塔原料-产品冷却器 Φ400×4550，304（管）/Q345R（壳） 2 新增 66 精馏塔产品冷却器 Φ400×4100，304（管）/Q345R（壳） 1 新增 67 精馏 1 塔回流罐 1 新增 68 精馏 2 塔回流罐 1 新增 69 精馏 3 塔回流罐 1 新增 70 精馏 1 塔回流泵 H=90m 2 新增 71 精馏 1 塔塔釜泵 H=90m 2 新增 72 精馏 2 塔回流泵 H=90m 2 新增 73 精馏 3 塔回流泵 H=90m 2 新增 74 干法 1 塔 Φ2200×51000，Q345R 1 新增 75 干法 2 塔 Φ2200×60000，304 1 新增 76 干法 1 塔冷凝器 Φ550×5700，304（管）/Q345R（壳） 1 新增 77 干法 1 塔再沸器 Φ2400×5700，304（管）/Q345R（壳） 1 新增 78 干法 2 塔冷凝器 Φ1200×5700，304（管）/Q345R（壳） 1 新增 79 干法 2 塔再沸器 Φ2000×6000，304 1 新增 80 干法塔原料-四硅换热器 Φ550×5400，304 2 新增 81 干法塔四硅冷却器 Φ400×4100，304（管）/Q345R（壳） 1 新增 82 干法塔产品冷却器 Φ400×4100，304（管）/Q345R（壳） 1 新增 83 干法塔低沸冷却器 Φ350×3400，304（管）/Q345R（壳） 1 新增 84 干法塔尾凝器 Φ400×1700，304/316 1 新增 85 干法 1 塔回流罐 V=25m3，Φ2400×6100，304 1 新增 86 干法 2 塔回流罐 V=25m3，Φ2400×6100，304 1 新增 87 干法 1 塔回流泵 H=90m 2 新增 88 干法 2 塔回流泵 H=95m 2 新增 89 粗馏 1 塔 Φ2800×57000，Q345R 1 新增 90 粗馏 2 塔 Φ2400×62000，Q345R 1 新增 91 粗馏 1 塔冷凝器 Φ550×5700，Q345R 1 新增 92 粗馏 1 塔再沸器 Φ2800×5550，Q345R 1 新增 93 粗馏 2 塔冷凝器 Φ1450×5850，Q345R 1 新增 94 粗馏 2 塔再沸器 Φ2100×6000，Q345R 1 新增 95 粗馏塔原料-四硅换热器 Φ450×5400，Q345R 2 新增 96 粗馏塔四硅冷却器 Φ550×3400，Q345R 1 新增 97 粗馏塔高沸冷却器 Φ350×3400，Q345R 1 新增 98 粗馏塔低沸冷却器 Φ350×3400，Q345R 1 新增 99 粗馏塔产品冷却器 Φ350×3400，Q345R 1 新增 100 粗馏塔尾凝器 Φ400×1700，304/316 1 新增 101 粗馏 1 塔回流罐 V=25m3，Φ2400×6100，Q345R 1 新增 102 粗馏 2 塔回流罐 V=25m3，Φ2400×6100，Q345R 1 新增 五、反歧化工序 1 管道混合器 Φ=300 1 新增 2 物料缓冲罐 V=10m3，Φ1800×4400 1 新增 3 屏蔽泵 H=60m 2 新增 4 预热器 BEM，F=4m2，Φ205×2400 ，立式 1 新增 5 反歧化反应器 Φ1500，Q345R 1 新增 6 产品冷却器 BEM，Φ257×3000，立式 1 新增 六、罐区 1 精馏产品罐 卧 式 V=100m3 ， Φ3000×14000 ， SS316L 5 罐区 利旧 2 干法精馏产品罐 卧 式 V=100m3 ， Φ3000×14000 ， SS316L，304 5 罐区 利旧 3 精馏产品出料罐 卧式 V=100m3，Φ3000×14000，304 2 罐区 利旧 4 冷氢化四硅罐 卧 式 V=100m3 ， Φ3000×14000 ， Q345R 2 罐区 利旧 5 冷氢化四硅罐 立 式 V=300m3 ， Φ6000×14000 ， Q345R 3 新增 6 粗馏产品罐 卧式 V=100m3，Φ3000×14000，304 2 罐区 利旧 7 回收塔原料罐 卧式 V=100m3，Φ3000×14000，304 1 罐区 利旧 8 分离塔原料罐 卧式 V=20m3，Φ2000×6000，Q345R 2 罐区 利旧 9 分离塔产品罐 卧式 V=20m3，Φ2000×6000，Q345R 1 罐区 利旧 10 分离塔产品罐 卧式 V=20m3，Φ2000×6000，Q345R 1 新增 11 反歧化塔原料罐 立 式 V=50m3 ， Φ2500×10000 ， Q345R 1 新增 12 外购 TCS 罐 卧式 V=100m3，Φ3000×14000，304 1 罐区 利旧 13 残液罐 立 式 V=50m3 ， Φ2500×10000 ， Q345R 2 新增 14 外排残液罐 卧式 V=20m3，Φ2000×6000，Q345R 2 新增 15 事故罐 卧 式 V=100m3 ， Φ3000×14000 ， Q345R 1 罐区 利旧 16 事故罐 卧 式 V=100m3 ， Φ3000×14000 ， Q345R 1 新增 17 精制三氯氢硅输送泵 屏蔽泵，H=20m，V=54m3 /h 2 新增 18 精制三氯氢硅出料泵 屏蔽泵，H=79m，Q=21.1m3 /h 2 罐区 利旧 19 精制三氯氢硅出料泵 屏蔽泵，H=80m，Q=15m3 /h 1 新增 20 三氯氢硅输送泵 屏蔽泵，H=90m，Q=54m3 /h 2 新增 21 冷氢化供料泵 屏蔽泵，H=280m，Q=50m3 /h 2 新增 22 精馏塔供料泵 屏蔽泵，H=90m，Q=36m3 /h 2 新增 23 回收塔供料泵 屏蔽泵，H=50m，Q=16m3 /h 2 新增 24 反歧化塔供料泵 屏蔽泵，H=50m，Q=22m3 /h 2 新增 25 外购原料输送泵 屏蔽泵，H=90m，Q=54m3 /h 2 新增 26 残液回收供料泵 屏蔽泵，H=60m，Q=4m3 /h 2 罐区 利旧 七、尾气回收工序 1 塔顶液体贮罐 1 新增 2 还原尾气压缩机 2 新增 3 压缩气气换热器 1 新增 4 压缩气过冷器 1 新增 5 制冷系统 1 利旧 八、氮气压空 1 2000Nm3 /h 制氮 1 利旧 2 7000Nm3 /h 压空 1 利旧 3 2000Nm3 /h 制氮 成套设备 1 新增 九、余热回收装置 1 还原热量回收装置 成套设备 2 新增
| 加入日期 | 2017年01月10日 | 所属地区 | 内蒙古自治区 | 进展阶段 | 环评公示 |
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正文内容
项目概况：年产8000吨高纯度、低 耗能多晶硅材料技术改造项目，建设地点位于内蒙古自治区鄂尔多斯市鄂克托旗棋盘井镇工业园区，项目总投资：41729 万元，在原有 3000t/a 多晶硅生产线的基础上进行 8000t/a 多晶硅节能改造。在原有工程基础上，改造部分工序生产工艺，实现生 产各工序的产能扩大、技术提升、设备优化，达到“提质、节能、降耗和降本” 的目的。本改扩项目建设期限为 2016～2017 年，2016 年 12 月完成项目建设前期阶 段工作，2017 年 3 月正式开工建设，2017 年 7 月底机械竣工，2017 年 10 月完 成试车、性能考核后，正式投入商业运行。
建设单位：内蒙古鄂尔多斯多晶硅业有限公司
环评机构：中冶东方控股有限公司
受理日期：2017年1月5日
改扩建工程建设内容 改扩建项目主要是对已有生产线的扩能技改升级，主要是根据生产运行情况 27 对生产装置进行技术改造，满足扩能需求的同时达到节能降耗和提高产品质量的 目。
项目建设内容主要包括以下方面：
还原工序
对已有 18 台 18 对棒还原炉进行工艺、设备以及相配套的电仪、管道等 进行优化改造，将原有的 3000t/a 多晶硅产能提升至 3500t/a，还原电耗由 90kWh/kg-Si 降至 65kWh/kg-Si。 原有多晶硅还原系统设计产能为年产 3000 吨多晶硅，全部为德国新泰克 18 对棒还原炉，使用的硅芯规格为 2.0m 高的圆硅芯；其生产流程为集中供气的生 产模式，即汽化器单独汽化高纯三氯氢硅获得的三氯氢硅气体分别进入到单台还 原炉的分气柜内，与常温氢气进行混合得到指定配比的混合气进入到李比希管内 进行升温，升温后的混合气进入到还原炉内，作为多晶硅气相沉积的原料。 还原尾气进入到李比希管内给混合气升温后，然后直接进入后续干法尾气回 收系统，送往干法回收系统的还原尾气温度相对较高。 还原系统采用高温水作为冷却介质的有还原炉底盘及还原炉钟罩，供水温度 为 90℃，出水温度为 130℃，该品质的高温水热利用效率相对较低，基本都是通 过空冷器直接冷却，因此还原炉副产的热量未得到有效的回收。
拆除现有热氢化炉，利旧原有厂房，通过厂房结构改造，在原厂房内新 增 9 台 36 对棒还原炉，以新增 4500t/a 多晶硅产能，还原电耗达到 50kWh/kg-Si。 通过上述技改，实现总产能为 8000t/a 多晶硅。 现有多晶硅前后处理有专门的厂房，设计时处理能力大，空间布置满足扩产 需求，因此本次技改过程中前后处理车间不需要做调整，能够满足扩建后年产 8000t/a 多晶硅的需求。
提纯工序
改造设计理念
提纯工艺参数、流程最优化 本项目结合当前知名企业及设计院氯硅烷精馏提纯的研发、设计、运行等经 验，采用最合适的回流比和操作工况，达到产品品质要求；同时精简塔组流程， 最大限度的优化塔的配置和配套的设备数量、规格，最大限度的降低提纯能耗， 28 达到节能降耗的目的。
充分利用差压热耦合技术，降低能耗 在生产稳定和可操作性的前提下，运用多塔、多方式差压热耦合技术，降低 能耗。
最大限度利旧已有装置和设备 充分考虑已有的设备和装置，让低效资产增效增值，减少新购设备数量，降 低投资。
提纯技改内容
对已有塔组流程、塔内件、物料特点，对工艺流程、装备能力进行核算， 合理分配塔组，以满足产能需求，同时充分考虑已有的设备和装置，减少投资。
新增粗馏塔、精馏塔等塔组，以满足年产 8000 吨多晶硅的产能需求。
在生产稳定和可操作性的前提下，运用多塔、多方式差压热耦合技术。 提纯塔组中精馏塔、粗馏塔、干法精馏塔、回收塔和反歧化塔均采用差压热耦合 技术，提纯能耗降低 40～50%，节水 40%。
提纯工艺技术方案 8000t/a 多晶硅提纯工序新增加 5 个塔，利旧 8 个塔，分别为初分塔、粗馏 塔、精馏塔、回收塔和干法精馏塔等，
各类型塔组的工艺简介如下： 1）初分塔 03T001 冷氢化初分塔处理氢化冷凝料，由 1 个塔组成，为新增设备，流程为塔釜采 29 出四氯化硅返回氢化工序，塔顶料到脱轻塔，残液进残液回收系统。 2）脱氢塔 02T0101 来自初分塔的塔顶料经脱氢塔，将二氯二氢硅分离送入反应歧化塔，三氯氢 硅送入粗馏塔组（03T0101、03T0102、03T0103）。 3）粗馏塔组 03T0101、03T0102、03T0103 粗馏塔组主要处理氢化粗馏塔经脱轻后的产品，由 3 塔组成，均为新增设 备，流程为：脱重→脱轻→脱重，高沸物和低沸物返回高低沸回收塔（02T0104、 02T0105）进一步回收。 节能措施：3 塔差压热耦合、原料与产品双效换热。 4）精馏塔组 02T0102、02T0103| 精馏塔组主要处理粗馏塔的产品，由 2 塔组成，均为利旧设备，流程为： 脱轻→脱重，最终满足还原炉使用要求。 节能措施：2 塔差压热耦合、原料与产品双效换热。 5）高低沸回收塔 02T0104、02T0105 回收塔处理粗馏塔高沸物和低沸物，由一组塔组成，利用原粗馏二级塔和三 级塔，流程为脱轻-脱重，回收产品。 节能措施：2 塔差压热耦合、原料与产品双效换热。 6）干法精馏塔 03T0104、原 AK120 干法塔处理还原尾气干法回收料，由 2 塔组成，利旧原尾气回收塔 AK120， 新增 1 个塔，干法精馏产品满足进还原要求，低沸物进分离塔进一步回收，高 沸物四氯化硅送入氢化工序或反歧化工序。 7）反歧化反应精馏塔 AK500、AK200 反歧化反应精馏塔，由 2 塔组成（AK500 和 AK200），均为利旧，反歧化 产品进精馏塔或满足要求后进还原炉
尾气回收工序 基于“用最少的投入实现鄂尔多斯多晶硅 8000t/a 稳定低能耗运行”的原则， 尽可能利旧使用或改造原有设备，对原尾气回收技改后降低了能耗：
压缩后由原来的 1.6MPa，降至 1.3MPa，降低了压缩机的功耗；
停用-70℃复叠式冷冻机组，节省了大量的电耗。
冷氢化工序 四氯化硅氢化工序采用当前技术成熟、安全稳定的大型流化床技术。其工艺 流程描述： 1）硅粉进料系统：硅粉输送采用正压密相输送系统输送，由硅粉仓库硅粉 输送装置在氮气氛围下将硅粉输送至流化床车间内高处的低压进料罐，然后在重 力作用下进入高压进料罐，置换合格后冲压至高压，通过气体和自身重力下送至 氢化反应器内； 2）四氯化硅与氢气混合预热系统：四氯化硅从罐区经过四氯化硅输送泵送 至气液换热器、四氯化硅预热器，预热至一定温度后，进入四氯化硅蒸发器转化 为气相四氯化硅。通过流量连锁控制四氯化硅气体量，与来自压缩机的循环氢气 流量连锁，使四氯化硅与氢气的配比控制在 1:2。二者混合后直接送至过热器进 一步加热至 320℃后，与氢化反应器出口的高温尾气通过气气换热器进行换热， 换热后的气体进入混合器预热炉电加热至氢化反应所需的温度，进入氢化反应 器。 3）氢化反应：来自步骤 1）的硅粉和步骤 2）的高温四氯化硅和氢气混合气 体在氢化流化床反应器中进行氢化反应，产生的氢化尾气进入气气换热器换热降 温至 350℃左右后直接进入急冷塔。 4）尾气急冷除尘除杂系统：含有固体颗粒及金属杂质的氢化尾气进入急冷 塔，与急冷塔内液体充分热质接触，净化除尘后进入塔顶空冷器，空冷至 60℃。 冷凝后的液体部分回流至急冷塔，急冷塔底部排放的残液经残液回收装置将氯化 硅回收，固体渣送至三废处理。经过空冷后的气体进入后续的多级冷凝系统。 5）多级冷凝回收系统：来自步骤 4）的气体，经过水冷、双效换热、深冷 后，从中分离出来的氢气进入循环氢气压缩机压缩后循环使用，冷凝下来的氯硅 烷液体送至提纯塔。 6）气体压缩系统：来自步骤 5）的氢气进入循环氢压机进口缓冲罐，与外 界补充的氢气混合后送至循环氢气压缩机压缩至 3.3MPa，经循环氢气压缩机出 口缓冲罐去往步骤 1）。 7）冷凝料粗馏系统：来自步骤 5）的氢化冷凝料经两级塔进行提纯分离， 分离出来的四氯化硅返回至步骤 2），分离的三氯氢硅和二氯二氢硅送至提纯装 31 置的精馏塔和二氯二氢硅分离塔进一步分离。
改扩建工程项目组成一览表
项目组成 生产工序 原有工程 改扩建工程 备注
主体 工程 H2制备与 净化 电解槽、除氧器、吸附干燥器 依托原有工程 已建 液氯汽化 液氯钢瓶（57 个钢瓶），其中 28 个使用，29 个备用 依托原有工程 已建 HCl 合成 HCl 合成炉、空气冷却器、HCl 冷却器、HCl 深冷器等 依托原有工程 已建 SiHCl3合成 HCl 加热器、氮气电加热器、泄放气除尘器、硅尘捕集 器、硅尘过滤器、SiHCl3合成炉、合成气洗涤塔和冷凝 器、SiCl4蒸汽冷凝器、氯硅烷液体过滤器、混合排放气 冷却器等 依托原有工程 已建 精馏提纯 多级（1~11）精馏塔、再沸器、冷凝器、氮气增湿器、 进料预热器、尾气冷凝器 新增粗馏塔、精馏塔等塔组，以满足产能需求；在生产稳 定和可操作性的前提下，运用多塔、多方式差压热耦合技 术。提纯塔组中精馏塔、粗馏塔、干法精馏塔、回收塔和 反歧化塔尽量采用差压热耦合技术；新增加 5 个塔，原有 多级精馏塔中利旧 8 个塔，拆除 3 个塔；分别为初分塔、 粗馏塔、精馏塔、回收塔和干法精馏塔 拟建 SiHCl3氢还 原 SiHCl3挥化器、还原炉、冷却器、加热器等 （1）对已有 18 台 18 对棒还原炉进行工艺、设备以及相配 套的电仪、管道等进行优化改造，将原有的 3000t/a 多晶硅 产能提升至 3500t/a； （2）拆除现有的全部热氢化炉，利旧原有厂房，通过厂房 结构改造，在原厂房内新增 9 台 36 对棒还原炉，以新增 4500t/a 多晶硅产能实现总产能为 8000t/a 多晶硅。 拟建 33 SiCl4氢化 工序 挥化器、氢化炉、加热器、冷却器等 将原有热氢化工序改为冷氢化工序。新增一条单线 15 万吨 /年 TCS 冷氢化装置（含渣浆处理），匹配 8000 吨/年多晶 硅产能需求； 新增反歧化装置，处理还原和冷氢化副产生的二氯二氢硅 拟建 硅芯制备和 产品整理 硅芯炉、烘干炉、煅烧炉、切割机、腐蚀槽、清洗槽等； 采用区熔炉拉制与切割并用的技术，加工制备还原炉初 始生产时需安装于炉内的导电硅芯。 依托原有工程 已建
公用及辅助 工程 办公、生活 设施 综合办公楼和倒班宿舍、中央化验室、食堂、车间办公 室、浴室、卫生间、车库等。 依托原有工程 已建 供水系统 由棋盘井工业园区自来水公司水厂供水。 依托原有工程 已建 供电系统 本工程供电由鄂尔多斯市电力集团供电公司提供，采用 两回路。 依托原有工程 已建 排水管网 厂区有生产废水、生活污水、消防事故和雨水排水四个 系统。生产废水、事故消防废水收集池废水经厂区内污 水处理系统处理后部分回用于酸碱配置工序使用，部分 排入园区污水处理厂进行处理，生活污水经化粪池预处 理后排入棋盘井工业园区污水处理厂进行进一步处理。 依托原有工程 已建 厂污水处理 站 处理能力 200m3 /h 依托原有工程 已建 消防水池 容积 2000 m3(按 130l/s，持续 3 小时计) 依托原有工程 已建 事故及初期 雨水池 容积 2000 m3，与消防排水池同用 依托原有工程 已建 34 循环冷却系 统 循环水量 10000m3 /h。 依托原有工程 已建 纯水站 出力 25m3 /h 依托原有工程 已建 脱盐水站 设计出力 70m3 /h，正常情况出力 60m3 /h 依托原有工程 已建 机房 总控制室、泵站、空分机房等 依托原有工程 已建
储运 工程 储运系统 综合仓库、化学品库、成品库，占地面积为 15800m2； 依托原有工程 已建 临时渣场（硅渣等）。 依托原有工程 已建 酸碱罐、Cl2 贮罐、H2、HCl、SiHCl3 和 SiCl4缓冲罐及 其贮罐， 新增冷氢化冷凝料储罐、冷氢化初分塔 STC 储罐、回收精 馏 STC 储罐、屏蔽泵， 拟建 厂区运输道路。 依托原有工程 已建
依托 工程 供、排水、 热、蒸汽供 应 依托园区自来水公司水厂供水和管网；生产废水经厂区 内污水处理站处理后部分回用于酸碱配置工序使用，部 分排入园区污水处理厂进行处理，生活污水排至园区污 水处理厂进一步处理，脱盐水站、循环水系统产生的含 盐废水排入由园区污水管网排入园区污水处理厂进行 处理；本项目正常生产、开车所需蒸汽来自棋盘井镇工 业园区内鄂尔多斯集团电厂副产蒸汽，采暖所需热水由 工业园区现有供热站统一供给。 依托原有工程 已建 依托原有工程 已建
环保 工程 废气处理 尾气洗涤塔（1 开 1 备）、酸雾吸附塔、硅粉除尘系统 （1）对现有的干法回收系统进行产能核算和优化改造，降 低能耗，提升质量； （2）对现有的热氢化尾气回收装置进行产能核算和优化 改造，用于新增还原尾气回收； 拟建 废水（液） 处理 废液处理槽、事故水池、中和池、化粪池、污水处理站 等 依托原有工程 已建 35 固体废物处 理 （1）硅粉等固废外售建材公司； （2）生活垃圾定点堆场，交由环卫部门统一处理； （3）污水处理站污泥交由有资质单位进行处理； 新增 1 座危废暂存间，面积约 100m2。 拟建 噪声治理 （1）设备选型上选用低噪声产品，对部分设备安装消 声器，同时对有关设备单独设置基础和采取减震措施； （2） 设备均布置在车间厂房内，经厂房隔声、减振底座、消声 器等处理； 拟建 绿化 全厂范围 以装置区周边空地及厂前区为重点，原则以绿化和实用为 主，选择能吸尘及吸收有害气体效果佳的植物，本项目绿 地率为 15%。 拟建
主要经济技术指标表
序号 项目 单位 指标 备注
一 生产规模 多晶硅装置 t/a 原有工程扩能 二 商品量 多晶硅 t/a 太阳能级 三 年操作时间 h 8000 四 主要原材料 1 工业硅粉 t/a 2 液氯 t/a 3 氢氧化钠 t/a 4 生石灰 t/a 5 浓硝酸（约 68%） t/a 6 氢氟酸（约 40%） t/a 五 公用工程用量 1 工业用水 m3 /h 正常值 2 生活用水 m3 /h 正常值 3 电力负荷 亿 kWh/a 8 正常值 六 运输量 t/a 23669 1 运入 t/a 12640 2 运出 t/a 13558 七 定员 人 413 八 总规划占地面积 m2 381041 包括预留二期改扩工程发展用地， 均为厂区内既有用地，不新增占地 九 工程项目总投资 万元 41729 1 建设投资 万元 36981 其中含进口设备 585 万美金 2 建设期利息 万元 679.16 3 流动资金 万元 4068.84 十 年均销售收入 万元 96000 含税 十一 年均总成本 万元 61288.87 其中年均经营成本 万元 49870.40 十二 年均净利润 万元 15046.78 十三 年均税金 万元 14466.07 1 增值税和附加税 万元 9450.48 2 所得税 万元 5015.59 十四 财务评价指标 1 总投资收益率(年均) % 11.98 2 投资利税率(年均) % 17.09 3 资本金净利率(年均) % 10.64 4 项目全投资 4.1 内部收益率 % 16.64 13.02 税前 税后 4.2 净现值 ic=11% 万元 51334.54 17860.97 税前 税后 4.3 投资回收期（静态） 年 6.47 7.54 税前 税后 5 项目资本金 5.1 内部收益率 % 14.33 税后 5.2 净现值 ic=13% 万元 9069.89 税后 6 贷款偿还期 年 8 生产期等额偿还
8000 吨/年多晶硅装置主要设备一览表
序号 设备名称 规格 数量 所在车间 备注
一、还原工序 1 18 对棒还原炉 φ1800，2.0m 硅芯 18 还原车间 利旧 2 防爆桥式起重机 G=16t，S=16.5m 2 还原车间 利旧 3 电极水循环泵 1210CFF 4 还原车间 利旧 4 电极水冷却器 板换，1320×730×1535 F=65m2 4 还原车间 利旧 5 炉筒自动清洗机 φ1800，18 对棒 1 还原车间 利旧 6 自动供酸系统 WMS-CDS 3 还原车间 利旧 7 自动封箱机 VS5-05(JP501) 还原车间 利旧 8 自动打包机 VS-102(A-93N) 还原车间 利旧 9 真空充氮包装机 VSI-400F/2-W/100 2 还原车间 利旧 10 硅块清洗机 WMS-DJGK 2 还原车间 利旧 11 硅芯清洗机 WMS-DJGS 1 还原车间 利旧 12 硅芯磨锥机床 MZ-08 2 还原车间 利旧 13 硅芯横梁双头钻孔机床 GXT2500-8 还原车间 利旧 14 硅芯丫口切割机床 YKJ2500-8 还原车间 利旧 15 圆盘切断机床 YPJ1500-2200 还原车间 利旧 16 钻孔取样机 ZS-100H 还原车间 利旧 17 金刚石切割机 SJY-150 2 还原车间 利旧 18 精密研磨抛光机 UNIPOLO-802 2 还原车间 利旧 19 硅芯专业喷砂机 DT-7555A 2 还原车间 利旧 20 磨锥机 HMJ-200 2 还原车间 利旧 21 36 对棒还原炉 φ3200，2.8 硅芯 9 新增 22 氢气预热器 BEM，φ200*1900；304 18 新增 23 氢气预热器 BEM，φ300*2100；304 8 新增 24 三氯氢硅汽化器 AKU，φ500*4800；304 4 新增 25 混合器 φ150*2000；304 18 新增 26 混合器 φ250*2000；304 8 新增 27 防爆桥式起重机 G=32t，S=16.5m 1 新增 28 电极水循环泵 CT 型标准化工泵，1210CFF 6 新增 29 电极水冷却器 1320*730*1535 F=65m2 6 新增 30 炉筒自动清洗机 φ3200，36 对棒 1 新增 31 横梁打孔机 RS-100 1 新增 32 双头磨锥机 RS-200 1 新增 二、干法回收工序 1 还原尾气空冷器 1# 5500*2000*4140， 换 热 面 积 F ＝ 58.8/612m2 1 干法装置 利旧 2 还原尾气空冷器 2# 5500*2000*4140， 换 热 面 积 F ＝ 58.8/612m2 1 干法装置 利旧 5 氯硅烷贮罐 Φ1400，V＝4.57m3 1 干法装置 利旧 6 富液储罐 Φ1400，V＝4.57m3 1 干法装置 利旧 7 氯硅烷屏蔽泵 Q=39.2m3 /hr，H＝43m 4 干法装置 利旧 10 还原尾气活塞压缩机 Q=1812.2m3 /hr，出气 1.9MPa（表） 2 干法装置 利旧 11 一级压缩气-吸收气换 热器 卧式Φ750，L=6000，F＝207.2m2 1 干法装置 利旧 12 二级压缩气-吸收气换 热器 卧式Φ750，L=6000，F＝207.2m2 1 干法装置 利旧 13 压缩后气深冷器 卧式Φ450L=5100，F＝39.3m2 1 干法装置 利旧 14 3#甲苯冷冻系统 入口-15℃，出口-20℃ 1 干法装置 利旧 15 2#甲苯冷冻系统 入口-50℃，出口-55℃ 1 干法装置 利旧 18 氯硅烷循环屏蔽泵 Q=80m3 /h，H＝20m 4 新增 20 还原尾气压缩机 10000Nm3 /h，进气 0.55MPa，出气 1.3MPa 1 新增 24 再生后气过冷器 F＝25m2 1 新增 25 氯化氢隔膜压缩机 270Nm3 /h 2 新增 26 氯化氢进气缓冲罐 5m3，Φ1600X2300 1 新增 27 氯化氢排气缓冲罐 5m3，Φ1600X2300 1 新增 28 氯化氢深冷器 F＝30m2，Φ600×4375 1 新增 29 活性炭吸附器 Φ2000 6 新增 30 过滤器 2 新增 31 还原尾气水冷器 1# F＝200m2 1 新增 32 还原尾气水冷器 1# F＝200m2 1 新增 33 精馏用甲苯设备 1 新增 三、氢化工序 1 氢化反应器 Φ3000，NO8810，内置旋风分离器 1 新增 2 急冷塔塔顶冷凝器 BEM，Φ1000，F=148.3m2，立式 1 新增 3 空冷器 GP12X3/2-GJP12X6/1-TF45/2-SC1 2X3/2 1 新增 4 四氯化硅预热器 BEU，Φ600×2250，卧式 1 新增 5 四氯化硅蒸发器 BKU，Φ600×1200，卧式 1 新增 6 氢气预热器 BEU，Φ600×1950，卧式 1 新增 7 混合气过热器 BEU，Φ700×3650，卧式 1 新增 8 气气换热器 BEM，Φ800，立式 1 新增 9 混合气预热炉 成套设备，辐射加热，Q 额=2000kW 1 新增 10 水冷器 BEM，Φ800×4500，卧式 1 新增 11 中间热交换器 BEM，Φ700×2300，立式 1 新增 12 终端冷凝器 BEU，Φ800×1600，卧式 1 新增 13 氢气过热器 成套设备，电阻加热，Q 额=200kW 1 新增 14 氮气加热器 电阻加热，Q=150KW，间断开 1 新增 15 急冷塔 Φ2400，316 1 新增 16 汽提塔 Φ500，316 1 新增 17 急冷塔侧线回流泵 屏蔽泵，H=35m 2 新增 18 急冷塔塔顶回流泵 屏蔽泵，H=65m 2 新增 20 静态混合器 成套设备 1 新增 21 防爆电动单梁起重机 Q=10T，CD1 型 1 新增 22 低压进料罐过滤器 Φ1000×4150，Q345R 1 新增 23 高压进料罐过滤器 Φ1500×4780，Q345R 1 新增 24 硅粉过滤器 Φ2400×3000，Q345R 1 新增 25 循环氢气压缩机 2D6.5-5.83/25-32，21000Nm3 /h 2 新增 26 补充氢气压缩机 P3.5-0.47/12-34，1700Nm3 /h 2 新增 27 硅粉干燥器 V=20m3，Q345R 2 新增 28 硅粉密相输送装置 成套设备，Q=6T/h，H=32m 1 新增 29 硅粉低压进料罐 V=10.5m3，Q345R 1 新增 30 硅粉高压进料罐 V=10.5m3，15CrMoR 1 新增 31 冷凝料缓冲罐 V=50m3，Q345R 1 新增 32 循环氢压机进口缓冲 罐 V=10m3，Φ2000×3000，Q345R 1 新增 33 循环氢压机出口缓冲 罐 V=10m3，Φ2000×3000，Q345R 1 新增 34 补充氢压机进口缓冲 罐 V=5m3，φ1600×2000，Q345R 1 新增 35 补充氢压机出口缓冲 罐 V=5m3，φ1600×2000，Q345R 1 新增 37 制冷装置 成套设备，68 万 kcal/h 1 新增 39 残液处理装置 成套设备 1 新增 40 硅粉气力输送 1 合成装置 利旧 41 硅粉仓库 1 合成装置 利旧 四、精馏工序 1 尾气回收塔 Φ1800×44815，022Cr19Ni10 1 提纯装置 利旧 2 尾气回收塔冷凝器 Φ1000×6928，00Cr19Ni10 1 提纯装置 利旧 3 尾气回收塔深凝器 Φ200×5680，00Cr19Ni10 1 提纯装置 利旧 4 尾气回收塔再沸器 Φ1200×4912，00Cr19Ni10（管） /Q345R （壳） 1 提纯装置 利旧 5 尾气回收塔回流槽 Φ1400×4263，00Cr19Ni10 1 提纯装置 利旧 6 尾气回收塔回流泵 Q=42m³/hr，H=59m 2 提纯装置 利旧 7 尾气回收塔釜液泵 H=31m 2 提纯装置 利旧 8 蒸汽凝液泵 2 提纯装置 利旧 9 蒸汽凝液槽 Φ1400×3063，00Cr19Ni10 1 提纯装置 利旧 10 反歧化 1 塔/粗 1 塔 Φ1600×50437，Q345R 1 提纯装置 利旧 11 反歧化 2 塔/回收 1 塔 Φ1100×55908，Q345R 1 提纯装置 利旧 12 反歧化 3 塔/回收 2 塔 Φ1100×55908，Q345R 1 提纯装置 利旧 13 反歧化 1 塔/粗 1 塔再 沸器 Φ1000×3000，304 1 提纯装置 利旧 14 反歧化 1 塔/粗 1 塔冷 凝器 Φ900×6000，304 1 提纯装置 利旧 15 反歧化 2 塔/回收 1 塔 再沸器 Φ800×3000，304 1 提纯装置 利旧 16 反歧化 2 塔/回收 1 塔 冷凝器 Φ700×6000，304 1 提纯装置 利旧 17 反歧化 3 塔/回收 2 塔 再沸器 Φ1000×3000，304 1 提纯装置 利旧 18 反歧化 3 塔/回收 2 塔 冷凝器 Φ325×3000，304 1 提纯装置 利旧 19 反歧化 3 塔/回收 2 塔 塔底后冷器 Φ400×1500，304 1 提纯装置 利旧 20 反歧化 1 塔/粗 1 塔回 流罐 Φ2000×5480，Q345R 1 提纯装置 利旧 21 反歧化 2 塔/回收 1 塔 回流罐 Φ1800×5150，Q345R 1 提纯装置 利旧 22 反歧化 3 塔/回收 2 塔 回流罐 Φ1800×5150，Q345R 1 提纯装置 利旧 23 反歧化 1 塔/粗 1 塔回 流泵 H=64m 2 提纯装置 利旧 24 反歧化 2 塔/回收 1 塔 回流泵 H=85m 2 提纯装置 利旧 25 反歧化 2 塔/回收 1 塔 塔底泵 H=44m 2 提纯装置 利旧 26 反歧化 3 塔/回收 2 塔回 流泵 H=86m 2 提纯装置 利旧 27 回收 1 塔/粗 2 塔 Φ2000×57000，Q345R 1 提纯装置 利旧 28 回收 2 塔/粗 3 塔 Φ1800×57000，06Cr19Ni10 1 提纯装置 利旧 29 回收 1 塔/粗 2 塔再沸器 Φ1400×3000，304 1 提纯装置 利旧 30 回收 1 塔/粗 2 塔冷凝器 Φ1200×6000，304 1 提纯装置 利旧 31 回收 2 塔/粗 3 塔再沸器 Φ1200×3000，304 1 提纯装置 利旧 32 回收 2 塔/粗 3 塔冷凝器 Φ450×3000，304 1 提纯装置 利旧 33 回收 2 塔/粗 3 塔塔底后 冷器 Φ400×1500，304 1 提纯装置 利旧 34 回收 1 塔/粗 2 塔回流罐 Φ2400×6080，Q345R 1 提纯装置 利旧 35 回收 2 塔/粗 3 塔回流罐 Φ2400×6080，06Cr19Ni10 1 提纯装置 利旧 36 回收 1 塔/粗 2 塔回流泵 H=83m 2 提纯装置 利旧 37 回收 1 塔/粗 2 塔塔底泵 H=83m 2 提纯装置 利旧 38 回收 2 塔/粗 3 塔回流泵 H=87m 2 提纯装置 利旧 39 AK100 Φ1000×50880，06Cr19Ni10 1 提纯装置 利旧 40 AK100 再沸器 F=122m2，φ650×4425，Q345R 1 提纯装置 利旧 41 AK100 冷凝器 F=190m2，φ800×6192，Q345R 1 提纯装置 利旧 42 AK100 深冷器 F=190m2，φ800×6192，Q345R 1 提纯装置 利旧 43 AK100 回流罐 1 提纯装置 利旧 44 AK100 回流泵 2 提纯装置 利旧 45 AK100 塔釜泵 2 提纯装置 利旧 46 AK500 Φ1000×56660，06Cr19Ni10 1 提纯装置 利旧 47 AK500 再沸器 F=36.5m2，Φ600×2000，304 1 提纯装置 利旧 48 AK500 冷凝器 F=61.4m2，Φ700×3000，304 1 提纯装置 利旧 49 AK500 回流罐 Φ1800×2600，304 1 提纯装置 利旧 50 AK500 回流泵 H=83m 2 提纯装置 利旧 51 AK500 塔釜泵 H=38m 2 提纯装置 利旧 52 AK500 进料泵 2 提纯装置 利旧 53 精馏 1 塔 Φ3200×76000，Q345R 1 新增 54 精馏 2 塔 Φ3200×76000，Q345R 1 新增 55 精馏 3 塔 Φ3200×71000，304 1 新增 56 精馏 1 塔冷凝器 Φ2000×3900，304（管）/Q345R（壳） 1 新增 57 精馏 1 塔再沸器 Φ2300×6000，304 1 新增 58 精馏 2 塔冷凝器 Φ2100×3800，304（管）/Q345R（壳） 1 新增 59 精馏 2 塔再沸器 Φ2500×6000，304 1 新增 60 精馏 3 塔冷凝器 Φ900×5250，304（管）/Q345R（壳） 1 新增 61 精馏 3 塔再沸器 Φ2000×5550，304（管）/Q345R（壳） 1 新增 62 精馏 1 塔低沸冷却器 Φ350×3400，304（管）/Q345R（壳） 1 新增 63 精馏 2 塔高沸冷却器 Φ350×3400，304（管）/Q345R（壳） 1 新增 64 精馏 3 塔高沸冷却器 Φ350×3400，304（管）/Q345R（壳） 1 新增 65 精馏塔原料-产品冷却器 Φ400×4550，304（管）/Q345R（壳） 2 新增 66 精馏塔产品冷却器 Φ400×4100，304（管）/Q345R（壳） 1 新增 67 精馏 1 塔回流罐 1 新增 68 精馏 2 塔回流罐 1 新增 69 精馏 3 塔回流罐 1 新增 70 精馏 1 塔回流泵 H=90m 2 新增 71 精馏 1 塔塔釜泵 H=90m 2 新增 72 精馏 2 塔回流泵 H=90m 2 新增 73 精馏 3 塔回流泵 H=90m 2 新增 74 干法 1 塔 Φ2200×51000，Q345R 1 新增 75 干法 2 塔 Φ2200×60000，304 1 新增 76 干法 1 塔冷凝器 Φ550×5700，304（管）/Q345R（壳） 1 新增 77 干法 1 塔再沸器 Φ2400×5700，304（管）/Q345R（壳） 1 新增 78 干法 2 塔冷凝器 Φ1200×5700，304（管）/Q345R（壳） 1 新增 79 干法 2 塔再沸器 Φ2000×6000，304 1 新增 80 干法塔原料-四硅换热器 Φ550×5400，304 2 新增 81 干法塔四硅冷却器 Φ400×4100，304（管）/Q345R（壳） 1 新增 82 干法塔产品冷却器 Φ400×4100，304（管）/Q345R（壳） 1 新增 83 干法塔低沸冷却器 Φ350×3400，304（管）/Q345R（壳） 1 新增 84 干法塔尾凝器 Φ400×1700，304/316 1 新增 85 干法 1 塔回流罐 V=25m3，Φ2400×6100，304 1 新增 86 干法 2 塔回流罐 V=25m3，Φ2400×6100，304 1 新增 87 干法 1 塔回流泵 H=90m 2 新增 88 干法 2 塔回流泵 H=95m 2 新增 89 粗馏 1 塔 Φ2800×57000，Q345R 1 新增 90 粗馏 2 塔 Φ2400×62000，Q345R 1 新增 91 粗馏 1 塔冷凝器 Φ550×5700，Q345R 1 新增 92 粗馏 1 塔再沸器 Φ2800×5550，Q345R 1 新增 93 粗馏 2 塔冷凝器 Φ1450×5850，Q345R 1 新增 94 粗馏 2 塔再沸器 Φ2100×6000，Q345R 1 新增 95 粗馏塔原料-四硅换热器 Φ450×5400，Q345R 2 新增 96 粗馏塔四硅冷却器 Φ550×3400，Q345R 1 新增 97 粗馏塔高沸冷却器 Φ350×3400，Q345R 1 新增 98 粗馏塔低沸冷却器 Φ350×3400，Q345R 1 新增 99 粗馏塔产品冷却器 Φ350×3400，Q345R 1 新增 100 粗馏塔尾凝器 Φ400×1700，304/316 1 新增 101 粗馏 1 塔回流罐 V=25m3，Φ2400×6100，Q345R 1 新增 102 粗馏 2 塔回流罐 V=25m3，Φ2400×6100，Q345R 1 新增 五、反歧化工序 1 管道混合器 Φ=300 1 新增 2 物料缓冲罐 V=10m3，Φ1800×4400 1 新增 3 屏蔽泵 H=60m 2 新增 4 预热器 BEM，F=4m2，Φ205×2400 ，立式 1 新增 5 反歧化反应器 Φ1500，Q345R 1 新增 6 产品冷却器 BEM，Φ257×3000，立式 1 新增 六、罐区 1 精馏产品罐 卧 式 V=100m3 ， Φ3000×14000 ， SS316L 5 罐区 利旧 2 干法精馏产品罐 卧 式 V=100m3 ， Φ3000×14000 ， SS316L，304 5 罐区 利旧 3 精馏产品出料罐 卧式 V=100m3，Φ3000×14000，304 2 罐区 利旧 4 冷氢化四硅罐 卧 式 V=100m3 ， Φ3000×14000 ， Q345R 2 罐区 利旧 5 冷氢化四硅罐 立 式 V=300m3 ， Φ6000×14000 ， Q345R 3 新增 6 粗馏产品罐 卧式 V=100m3，Φ3000×14000，304 2 罐区 利旧 7 回收塔原料罐 卧式 V=100m3，Φ3000×14000，304 1 罐区 利旧 8 分离塔原料罐 卧式 V=20m3，Φ2000×6000，Q345R 2 罐区 利旧 9 分离塔产品罐 卧式 V=20m3，Φ2000×6000，Q345R 1 罐区 利旧 10 分离塔产品罐 卧式 V=20m3，Φ2000×6000，Q345R 1 新增 11 反歧化塔原料罐 立 式 V=50m3 ， Φ2500×10000 ， Q345R 1 新增 12 外购 TCS 罐 卧式 V=100m3，Φ3000×14000，304 1 罐区 利旧 13 残液罐 立 式 V=50m3 ， Φ2500×10000 ， Q345R 2 新增 14 外排残液罐 卧式 V=20m3，Φ2000×6000，Q345R 2 新增 15 事故罐 卧 式 V=100m3 ， Φ3000×14000 ， Q345R 1 罐区 利旧 16 事故罐 卧 式 V=100m3 ， Φ3000×14000 ， Q345R 1 新增 17 精制三氯氢硅输送泵 屏蔽泵，H=20m，V=54m3 /h 2 新增 18 精制三氯氢硅出料泵 屏蔽泵，H=79m，Q=21.1m3 /h 2 罐区 利旧 19 精制三氯氢硅出料泵 屏蔽泵，H=80m，Q=15m3 /h 1 新增 20 三氯氢硅输送泵 屏蔽泵，H=90m，Q=54m3 /h 2 新增 21 冷氢化供料泵 屏蔽泵，H=280m，Q=50m3 /h 2 新增 22 精馏塔供料泵 屏蔽泵，H=90m，Q=36m3 /h 2 新增 23 回收塔供料泵 屏蔽泵，H=50m，Q=16m3 /h 2 新增 24 反歧化塔供料泵 屏蔽泵，H=50m，Q=22m3 /h 2 新增 25 外购原料输送泵 屏蔽泵，H=90m，Q=54m3 /h 2 新增 26 残液回收供料泵 屏蔽泵，H=60m，Q=4m3 /h 2 罐区 利旧 七、尾气回收工序 1 塔顶液体贮罐 1 新增 2 还原尾气压缩机 2 新增 3 压缩气气换热器 1 新增 4 压缩气过冷器 1 新增 5 制冷系统 1 利旧 八、氮气压空 1 2000Nm3 /h 制氮 1 利旧 2 7000Nm3 /h 压空 1 利旧 3 2000Nm3 /h 制氮 成套设备 1 新增 九、余热回收装置 1 还原热量回收装置 成套设备 2 新增
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