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新型电机助推我国IC产业自主化发展

近日召开的中国科协科技期刊月度研讨会上,由哈尔滨工业大学电磁与电子技术研究所寇宝泉教授、李立毅教授、张赫博士撰写的论文《集成绕组结构短行程直流平面电机》被重点推介。该论文提出了一种可应用于光刻机超精密工件台的平面电机新型结构。 与会专家表示,这种基于音圈电机运行原理的平...

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